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斜交型X線光源を採用した本装置は、大面積試料を切断加工せずに高コントラスト、高空間分解能で観察できます。試料をX線源に十分近づけて撮影を行うことができ、既存のX線CT装置では観察の難しい大面積試料でもサブミクロンの空間分解能での観察が可能です。
マイクロX線顕微鏡
日産アークが導入するマイクロX線顕微鏡は、一般的なX線CT装置 (直交型) とは異なる斜交型を採用しているため、大面積の試料を非破壊観察可能です。また新設計の光学系を有しており、斜交型でありながらも高い空間分解能を実現しています。
本装置の特徴
〇 高コントラスト、高分解能
高輝度なX線源と高効率な大型検出器に加え、独自の光学系を採用することにより最大0.5μmの空間分解能での測定が可能です。
〇 大面積試料に対応
斜交型なので試料サイズに関わらずX線源との距離を近づけられ、既存のハイエンドX線CT装置でも不可能な大面積試料 (最大Φ300mm) の高分解能測定が可能です。
既存のハイエンド装置では不明瞭だった再配線層 (RDL)* 中のクラックが、本装置ではきれいに観察されています。
＊再配線層 (RDL)：半導体チップと外部取出し部までをつなぐために基板上に形成された配線層
Sigray社提供データ
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