新規技術資料　マイクロX線顕微鏡 (XRM) での高分解能観察　を掲載しました。
本装置は、数100mm程度の大きな試料をミクロンオーダーのこれまでにない空間分解能で観察することが可能です。例として、電極各層を分解することができない全固体電池の電極微細構造やクラックの観察、また、基板に載った半導体デバイスを接合するボンディングやバンプの欠陥などの観察を切断加工せずにそのまま観察、検出できます。
2024年4月よりサービス開始予定です。

https://www.nissan-arc.co.jp/services/f810/