お問い合わせ
カールツァイス製GeminiSEM 560は、サンプルバイアスを必要としない極低加速電圧観察で、高感度な二次電子、反射電子の高分解能イメージングにより、これまでには得られなかった情報を試料から引き出すことが可能になりました。
極低加速電圧走査電子顕微鏡の特長
極低加速電圧走査電子顕微鏡 (ZEISS製 GeminiSEM 560) を導入しました。
本装置は、極低加速から高加速電圧まで対応可能なことに加え、高い空間分解能をもつ多種の検出器と高感度EDXを搭載することで、これまでにない鮮明な表面形態を捉えることが可能です。
| 主な仕様 | |
| 分解能 | 0.4nm @30kV (STEM) 0.8nm @1kV |
| 加速電圧 | 0.02kV～30kV |
| 倍率 | ×1～×2,000,000 |
| 試料ステージ | 130mm角×高さ50mm |
| 最大試料サイズ | Φ179mm |
| 検出器 | Inlens (SE, BSE), BSD, STEM, EDS |
| 搬送 | 大気非暴露搬送可能 |
極低加速および高分解能観察事例
掲載資料をダウンロードできます。
PDF形式
左のアイコンをクリックすると、別ウインドウで開きます。
資料のダウンロードにはお客様情報の入力が必要となります。
お問い合わせフォーム