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スクラッチ法は、摩擦係数の変化から臨界荷重を決定し、定性的に密着性を比較評価する方法です。バルクから基板上多層膜に至るまで様々な材料に対応でき、汎用性の高い評価法です。
荷重に対する押し込み深さ変化も測定するため、剥離位置の推測が可能です。圧痕のAFMによる観察やTEMによる断面観察などから、剥離の形態を把握します。
スクラッチ法は、摩擦係数の変化から臨界荷重を決定し、定性的に密着性を比較評価する方法です。バルクから基板上多層膜に至るまで様々な材料に対応でき、汎用性の高い評価法です。
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