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4PB法は、界面凝集エネルギーの測定により、シリコンやガラス･金属箔などを基板とする多層膜中の界面密着性を定量的に評価する方法です。これまで困難だった、材質や膜厚が異なる試料での比較を可能にします。
4PB法の原理
4PB法による凝集エネルギーの測定
剥離面の直接分析
SiCN/Cu界面で剥離したと同定
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化学結合状態や形状などの詳細を把握
剥離面を直接分析することが可能なため、単なる密着性評価だけではなく、界面現象の評価や密着性支配要因の解明などへ発展させることができます。
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