新しいAES装置の導入により、位置分解能が向上しました。
概要
高容量なリチウムイオン二次電池の負極材として、グラファイトとエネルギー密度の高いSiを用いた混合系負極が注目されています。混合系において形成されるSEI被膜の元素分布を位置分解能に優れたAESで行いました。
オージェ電子分光法 (AES) の特徴
・分析領域が表面数nmと非常に浅い ⇒ 最表面の情報が得られます。
・XPSよりも高い位置分解能 ⇒ ナノレベルの局所分析が可能です。
・幅広い元素に対応 ⇒ Liの元素分布も分析できる数少ない手法です。
・トランスファーベッセルの併用で大気非暴露分析が可能です。
最新装置の導入により、位置分解能が約8nmまで向上しました。
鮮明なSEM像取得・微小部分析が可能になりました。